X線透過式2次元測定機
X線透過式2次元測定機 MVX-818
- MVX-818
X線透過式2次元測定機 MVX-818は、X線カメラにより多層基板の内層に形成された回路パターンの透視、座標測定の情報により、基板の膨張・収縮・変形を分析します。
X線画像を用いた高精度な測定
X線ガイド穴明機で培った技術を用いることで、X線特有のひずみのある画像からガイドマークを高精度に認識し、さらに独自の面補正技術により高い測定精度を実現します。
X線透過式2次元測定機 MVX-818
ワークサイズ
660×760mm(MAX)
計測領域
600×700mm(MAX)
対応板厚
6.0mm(MAX)
積載重量
10kg(MAX)
視野サイズ
4.8x6.3mm~14.5x19mm(5段階)
X線発生装置
密閉型マイクロフォーカス25~90kV 100μA(MAX)
精度
(7+10L/1000)μm L:任意の測定長
X線漏洩量
1μSv/h以下
電 源
3ø 200V 3kVA
外形寸法
W1,735×H1,680×D2,050mm
質量
約3,700kg